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材料分析儀

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產品系列
材料熱特性系列
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薄膜綜合物性分析測試系統

型號:MPPS-3
應用領域:
薄膜綜合物性分析測試系統能方便快捷地測試多種薄膜樣品的多個物理性能,且結果非常具有可比性,可以避免因樣品尺寸、組成或加熱條件等不同環境條件造成的誤差。同時,模塊化的系統設計可根據實際的測試需求選配部分模塊,并且可以隨時添加模塊以實現更多的功能。 薄膜綜合物性分析測試系統可應用于測量具有金屬性質及陶瓷或有機物的樣品。因此可適用于不同的鍍膜方法,例如PVD,CVD或旋涂等。
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技術參數

模塊選擇

·相變單元
包含高性能的加熱及控制系統、送樣組件和適用的軟件系統。該模塊用于測量以下參數:相變溫度
·熱膨脹單元
采用PID調節與模糊控制相結合形式控制的紅外加熱方式。該模塊用于測量以下參數:熱膨脹系數
·熱導率單元
采用3ω測試方法,利用微/納米薄膜材料導熱引起加熱器電信號的變化來檢測其熱導率。該模塊用于測量
以下參數: 熱導率
·熱電單元
采用動態法和四線發分別測量樣品。該模塊用于測量以下參數:Seebeck系數、電阻率
·霍爾效應單元
采用范德堡法測量材料的電運輸性能參數。該模塊用于測量以下參數:霍爾系數、遷移率、載流子濃度
·變溫電阻單元
采用雙電發測量高溫、真空、氣氛條件下樣品。該模塊用于測量以下參數:電阻、電阻率