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材料分析儀

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快速退火爐 耗材

型號:石英樣品托架
應用領域:
采用高純度石英砂(99.95%)精密制造,高溫環境下仍可保持穩定的化學性質。用于承載石墨托盤,也可以直接承載晶圓。
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技術參數
·除標準尺寸外,還可定制用于異形樣品的石英托盤;
· 除適用于本設備外,還可深度定制適用于友商RTP設備的石英托架/盤