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4-12寸桌面式/立式退火爐

型號：RTP-3-04
應用領域：
快速熱處理(RTP)、快速退火(RTA)、快速熱氧化(RTO)、快速熱氮化(RTN) …… 薄膜沉積后退火，離子注入退火，電極接觸退火，去應力退火，合金化退火，熱擴散、致密化，結晶、燒結，氧化制程，低介電材料熱處理，化合物半導體退火，多晶硅退火，硅化，熱疲勞循環測試，合金熔點分析，耐熱性測試，材料制備 ... ...
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