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多晶硅還原爐測溫

針對多晶硅還原爐內硅材料、硅化合物對紅外線吸收的問題,以及觀察窗上可能存在的無定型硅和硅油對紅外線能量的衰減問題,使用雷泰(RAYTEK)專用Endurance雙色測溫儀。該采用雙波長設計,通過接收兩個相鄰波長的紅外能量做對比,能有效的抗擊干擾,精確的反應硅棒的溫度。

雷泰(RAYTEK)Endurance雙色測溫儀能自適應硅棒直徑的變化,高精度、高重復性的接收硅材料的熱輻射,以適應硅棒直徑大范圍變化的狀態。

鑒于工藝現場可能存在的氫氣泄露,雷泰(RAYTEK)紅外測溫儀采用了防爆保護套,達到Exid II CT6防護等級,以適合現場防爆的工藝環境,并且還能有效隔絕現場電磁干擾。

1) 采用目鏡一體式方案,具有良好的防爆、抗干擾能力。

2) 針對氫還原爐觀察窗特點,選用較大光學鏡頭的探頭,探頭進光量大,可最大限度吸收紅外能量,測量準確。

3) 采用雙波長設計,只需要5%的能量到達探頭就可以準確的測量溫度。能有效的消除硅棒、硅化合氣體,觀察窗污漬對測溫的干擾,保證測溫準確性。

4) 采用0.75~1/0.95~1.1微米的雙比色波長,不但完全響應多晶硅的輻射波長(0.9~1.1),而且能有效的消除水和玻璃對紅外線的阻擋。

5) 獨特的“臟鏡頭”功能,能實時顯示探頭和硅棒之間被干擾和阻擋的情況,比如觀察窗玻璃鏡片上有污漬。

6) 獨特的自適應功能(焦距自動調整),不管是5mm的芯棒,還是200mm的成品,均能準確的測量其溫度。

7) 目鏡式測溫系統采用窄視場設計,能將能量接受面聚焦在硅棒上,避免環境溫度和熱場變化對溫度測量的干擾。

8) 通過專用的分析記錄軟件,能遠程對探頭進行狀態監控、管理和參數設置,每個網絡最大支持32個探頭。并能生成溫度曲線,和歷史記錄,對設定溫度進行報警顯示。

9) 目鏡/激光瞄準型探頭防爆保護套采取防爆設計,達到Ex id II CT6防護等級。

10) 提供標準的420mA020mA)信號,方便的接入現場DCS系統,并提供485數字接口,能遠程進行管理。